PROPERTIES OF CDS-IN THIN-FILMS GROWN BY IONIZED DEPOSITION

被引:5
作者
KUROYANAGI, A
SUDA, T
机构
关键词
D O I
10.1016/0040-6090(89)90097-7
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
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共 11 条
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YAMAGUCHI, K ;
NAKAYAMA, N ;
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JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 1977, 16 (07) :1203-1211