NUMERICAL-ANALYSIS OF VARIOUS CROSS SHEET RESISTOR TEST STRUCTURES

被引:61
作者
DAVID, JM
BUEHLER, MG
机构
关键词
D O I
10.1016/S0038-1101(77)81011-3
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
收藏
页码:539 / 543
页数:5
相关论文
共 15 条