STABLE GLOW PLASMA AT ATMOSPHERIC-PRESSURE

被引：572

作者：

KANAZAWA, S

KOGOMA, M

MORIWAKI, T

OKAZAKI, S

机构：

来源：

JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS | 1988年 / 21卷 / 05期

关键词：

D O I：

10.1088/0022-3727/21/5/028

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：838 / 840

页数：3

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共 3 条

[1]

Kanazawa S, 1987, P 8 INT S PLASM CHEM, P1839

[2] WETTABILITY CONTROL OF A PLASTIC SURFACE BY CF4-O2 PLASMA AND ITS ETCHING EFFECT [J].

KOGOMA, M ;

KASAI, H ;

TAKAHASHI, K ;

MORIWAKI, T ;

OKAZAKI, S .

JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS, 1987, 20 (01) :147-149

[3]

ROUZBEHI F, 1985, P ISPC 7, V2, P485