X-RAY-LITHOGRAPHY BY SYNCHROTRON RADIATION OF THE SOR-RING STORAGE RING

被引：16

作者：

ARITOME, H

MATSUI, S

MORIWAKI, K

NAMBA, S

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1979年 / 16卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1116/1.570359

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：1939 / 1941

页数：3

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共 2 条

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