HG1-XCDXTE NATIVE OXIDE REDUCTION BY CVD SIO2

被引：17

作者：

RHIGER, DR

KVAAS, RE

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1982年 / 21卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1116/1.571676

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：448 / 452

页数：5

共 17 条

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