BONDING AND DIFFUSION AT AL AND AU INTERFACES WITH CDS

被引:38
作者
BRILLSON, LJ [1 ]
BAUER, RS [1 ]
BACHRACH, RZ [1 ]
MCMENAMIN, JC [1 ]
机构
[1] XEROX CORP, PALO ALTO RES CTR, PALO ALTO, CA 94305 USA
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1980年 / 17卷 / 01期
关键词
D O I
10.1116/1.570487
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:476 / 480
页数:5
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