HIGH-ACCURACY PRESSURE MEASUREMENT WITH A SILICON RESONANT SENSOR

被引：40

作者：

GREENWOOD, J

WRAY, T

机构：

[1] Druck Limited, Groby, Leics. LE6 OFH, Fir Tree Lane

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0924-4247(93)80017-B

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

The sources of error when measuring pressure with a silicon resonant sensor are described in the context of a new precision barometer.

引用

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