ENERGY DEPOSITION AT INSULATOR SURFACES BELOW THE ULTRAVIOLET PHOTOABLATION THRESHOLD

被引:27
作者
DREYFUS, RW
MCDONALD, FA
VONGUTFELD, RJ
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1987年 / 5卷 / 05期
关键词
D O I
10.1116/1.583668
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
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页码:1521 / 1527
页数:7
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