ACTIVATION ENERGY FOR ELECTROMIGRATION IN ALUMINUM FILMS ALLOYED WITH COPPER

被引:40
作者
SHINE, MC
DHEURLE, FM
机构
关键词
D O I
10.1147/rd.155.0378
中图分类号
TP3 [计算技术、计算机技术];
学科分类号
0812 ;
摘要
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页码:378 / &
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