RECTANGULAR-APERTURED MICRO-FRESNEL LENS ARRAYS FABRICATED BY ELECTRON-BEAM LITHOGRAPHY

被引：58

作者：

SHIONO, T

SETSUNE, K

YAMAZAKI, O

WASA, K

机构：

来源：

APPLIED OPTICS | 1987年 / 26卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1364/AO.26.000587

中图分类号：

O43 [光学];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

引用

页码：587 / 591

页数：5

共 6 条

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