REACTIVE ION-BEAM ETCHING OF Y-BA-CU-O SUPERCONDUCTORS

被引：46

作者：

MATSUI, S

TAKADO, N

TSUGE, H

ASAKAWA, K

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.99321

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：69 / 71

页数：3

共 4 条

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