PARTICLE DEPOSITION ON SEMICONDUCTOR WAFERS

被引：86

作者：

LIU, BYH

AHN, KH

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1080/02786828708959135

中图分类号：

TQ [化学工业];

学科分类号：

0817 ;

摘要：

引用

页码：215 / 224

页数：10

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共 6 条

COOPER, DW .

[2]

Eckert E.R., 1959, HEAT MASS TRANSFER, Vsecond

[3]

Fuchs N. A, 1964, MECH AEROSOLS

[4]

HAMBERG O, 1984, P ANN TECHNICAL M I

[5]

LARRABEE GB, 1985, CHEM ENG-NEW YORK, V92, P51

[6]

SPARROW EM, 1985, J HEAT TRANSFER, V127, P321