BLAZED X-RAY REFLECTION GRATINGS FABRICATED BY ELECTRON-BEAM LITHOGRAPHY

被引：6

作者：

ANDERSSON, H ^{[1
]}

ROMIJN, J ^{[1
]}

VANDERDRIFT, E ^{[1
]}

机构：

[1] DELFT UNIV TECHNOL,CTR SUBMICRON TECHNOL,2628 CJ DELFT,NETHERLANDS

来源：

APPLIED OPTICS | 1989年 / 28卷 / 20期

关键词：

D O I：

10.1364/AO.28.004266

中图分类号：

O43 [光学];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

引用

页码：4266 / 4268

页数：3

共 6 条

[1]

EDELSTEIN J, 1984, APPL OPTICS, V23, P3267, DOI 10.1364/AO.23.3267_1

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