THICKNESS DISTRIBUTION AND STEP COVERAGE IN A NEW PLANETARY SUBSTRATE HOLDER GEOMETRY

被引：14

作者：

BEHRNDT, KH

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1972年 / 9卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1116/1.1317845

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：995 / &

相关论文

共 5 条

[1] EVAPORATED FILM PROFILES OVER STEPS IN SUBSTRATES [J].

BLECH, IA .

[2]

BLECH IA, 1970, 8TH P ANN REL S LAS, P144

[3]

HOLLAND L, 1956, VACUUM DEPOSITION TH

[4]

KNUDSEN M, 1934, KINETIC THEORY GASES, P26

WASIK, CA ;

GNIEWEK, JJ .

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY, 1971, 8 (02) :441-&