CONDUCTION PROCESS IN PYROLYTICALLY DEPOSITED SIO2-FILMS

被引：6

作者：

POPOVA, LI ^{[1
]}

ANTOV, BZ ^{[1
]}

VITANOV, PK ^{[1
]}

机构：

[1] INST MICROELECTR,SOFIA 1113,BULGARIA

来源：

THIN SOLID FILMS | 1976年 / 38卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(76)90003-1

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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页码：247 / 253

页数：7

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共 11 条

[11] POOLE-FRENKEL WITH COMPENSATION PRESENT [J].

YEARGAN, JR ;

TAYLOR, HL .

JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 1968, 39 (12) :5600-&