共 2 条
- [1] LIEN CD, 1984, MATER RES SOC S P, V25, P131
- [2] COBALT SILICIDE LAYERS ON SI .1. STRUCTURE AND GROWTH[J]. JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 1975, 46 (10) : 4301 - 4307VANGURP, GJLANGEREIS, C
INTERACTIONS OF CO THIN-FILMS WITH SI SUBSTRATES
被引：3
作者：
COULMAN, B
BROADBENT, EK
机构：
来源：
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS
|
1987年
/
5卷
/
04期
关键词：
D O I：
10.1116/1.574611
中图分类号：
TB3 [工程材料学];
学科分类号：
0805 ;
080502 ;
摘要：
引用
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页码：1419 / 1420
页数：2
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