共 3 条
DISTORTION OF DIFFERENTIATED DEFLECTION ANALYZER CURRENT
被引:9
作者:
GERLACH, RL
机构:
来源:
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY
|
1972年
/
9卷
/
02期
关键词:
D O I:
10.1116/1.1317717
中图分类号:
O59 [应用物理学];
学科分类号:
摘要:
引用
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页码:1043 / &
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