DETERMINATION OF DEPTH RESOLUTION FROM MEASURED SPUTTERING PROFILES OF MULTILAYER STRUCTURES - EQUATIONS AND APPROXIMATIONS

被引：47

作者：

HOFMANN, S

机构：

来源：

SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS | 1986年 / 8卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1002/sia.740080209

中图分类号：

O64 [物理化学（理论化学）、化学物理学];

学科分类号：

070304 ; 081704 ;

摘要：

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共 11 条

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