THEORY OF THE SPUTTERING PROCESS

被引:53
作者
HARRISON, DE
机构
来源
PHYSICAL REVIEW | 1956年 / 102卷 / 06期
关键词
D O I
10.1103/PhysRev.102.1473
中图分类号
O4 [物理学];
学科分类号
0702 ;
摘要
引用
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页码:1473 / 1480
页数:8
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