MEASUREMENTS AND COLLISION - RADIATION DAMAGE THEORY OF HIGH-VACUUM SPUTTERING

被引:116
作者
KEYWELL, F
机构
来源
PHYSICAL REVIEW | 1955年 / 97卷 / 06期
关键词
D O I
10.1103/PhysRev.97.1611
中图分类号
O4 [物理学];
学科分类号
0702 ;
摘要
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页码:1611 / 1619
页数:9
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