SURFACE NUCLEATION KINETICS OF MOLECULAR-BEAM EPITAXIAL DOPED (001) AND (111) CDTE

被引:26
作者
BENSON, JD [1 ]
SUMMERS, CJ [1 ]
机构
[1] GEORGIA INST TECHNOL,MICROELECTR RES CTR,ATLANTA,GA 30332
关键词
REFLECTION HIGH-ENERGY ELECTRON DIFFRACTION - SURFACE NUCLEATION;
D O I
10.1016/0022-0248(90)90742-4
中图分类号
O7 [晶体学];
学科分类号
0702 ; 070205 ; 0703 ; 080501 ;
摘要
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页数:8
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