REACTIVE ION ETCHING OF LINBO3

被引：38

作者：

JACKEL, JL

HOWARD, RE

HU, EL

LYMAN, SP

机构：

来源：

APPLIED PHYSICS LETTERS | 1981年 / 38卷 / 11期

关键词：

D O I：

10.1063/1.92177

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：907 / 909

页数：3

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