共 11 条
GROWTH OF TOPOGRAPHY DURING SPUTTERING OF AMORPHOUS SOLIDS .4. GENERALIZED THEORY
被引:107
作者:
CARTER, G
[1
]
COLLIGON, JS
[1
]
NOBES, MJ
[1
]
机构:
[1] UNIV SALFORD,DEPT ELECT ENGN,SALFORD,ENGLAND
关键词:
D O I:
10.1007/BF00551671
中图分类号:
T [工业技术];
学科分类号:
08 ;
摘要:
引用
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页码:1473 / 1481
页数:9
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