GROWTH OF TOPOGRAPHY DURING SPUTTERING OF AMORPHOUS SOLIDS .4. GENERALIZED THEORY

被引:107
作者
CARTER, G [1 ]
COLLIGON, JS [1 ]
NOBES, MJ [1 ]
机构
[1] UNIV SALFORD,DEPT ELECT ENGN,SALFORD,ENGLAND
关键词
D O I
10.1007/BF00551671
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
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页码:1473 / 1481
页数:9
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