HIGH-RATE SPUTTERING OF COCR WITH LARGE-SCALE MAGNETRONS - DEPENDENCE OF MAGNETIC-PROPERTIES ON SPUTTERING PARAMETERS

被引：5

作者：

LUDWIG, R

KASTNER, K

KUKLA, R

MAYR, M

机构：

来源：

IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS | 1987年 / 23卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1109/TMAG.1987.1064811

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

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页码：94 / 96

页数：3

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