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MIGRATION ON FINE MOLTEN WIRES IN THIN SILICON WAFERS

被引：15
作者：
CLINE, HE
ANTHONY, TR
机构：
来源：
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS | 1978年 / 49卷 / 04期
关键词：
D O I：
10.1063/1.325082
中图分类号：
O59 [应用物理学];
学科分类号：
摘要：
引用
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页码：2412 / 2419
页数：8
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共 44 条
  • [11] ANTHONY TR, 1977, Patent No. 4011582
  • [12] ANTHONY TR, 1976, Patent No. 3990093
  • [13] ANTHONY TR, 1975, Patent No. 3904442
  • [14] ANTHONY TR, 1976, Patent No. 3972742
  • [15] ANTHONY TR, 1976, Patent No. 3998653
  • [16] ANTHONY TR, 1975, Patent No. 3910801
  • [17] ANTHONY TR, 1976, Patent No. 3982270
  • [18] ANTHONY TR, 1976, Patent No. 3998662
  • [19] ANTHONY TR, 1976, Patent No. 3982268
  • [20] ANTHONY TR, 1975, Patent No. 3902925
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