EFFECTIVENESS OF SIO2 FOR PREVENTING SILICON METAL REACTIONS AT HIGH-TEMPERATURES

被引：14

作者：

BEVOLO, AJ

CAMPISI, GJ

SHANKS, HR

SCHMIDT, FA

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.327456

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：5390 / 5395

页数：6

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共 5 条

[1] POLYCRYSTALLINE SILICON ON TUNGSTEN SUBSTRATES [J].

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