PHOTOINDUCED TRANSFORMATION OF POLYSILOXANE LAYERS TO SIO2

被引：17

作者：

KLUMPP, A

SIGMUND, H

机构：

来源：

APPLIED SURFACE SCIENCE | 1989年 / 43卷

关键词：

D O I：

10.1016/0169-4332(89)90229-8

中图分类号：

O64 [物理化学（理论化学）、化学物理学];

学科分类号：

070304 ; 081704 ;

摘要：

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页码：301 / 303

页数：3

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共 3 条

[1] DEPOSITION OF HIGH-QUALITY SIO2 LAYERS FROM TEOS BY EXCIMER LASER
KLUMPP, A
SIGMUND, H
[J]. APPLIED SURFACE SCIENCE, 1989, 36 (1-4) : 141 - 149
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