EFFECTS OF ADDED O2 UPON ARGON EMISSION FROM AN RF GLOW DISCHARGE

被引：21

作者：

LOUNSBURY, JB

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1969年 / 6卷 / 05期

关键词：

D O I：

10.1116/1.1492717

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：838 / +

页数：1

共 18 条

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