CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION OF GE ON SI FROM GEH4-HE GAS-MIXTURES

被引：4

作者：

AHARONI, H

机构：

来源：

JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH | 1981年 / 54卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1016/0022-0248(81)90521-2

中图分类号：

O7 [晶体学];

学科分类号：

0702 ; 070205 ; 0703 ; 080501 ;

摘要：

引用

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页码：600 / 601

页数：2

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共 3 条

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