共 4 条
A NEW APPARATUS FOR MULTILAYER GROWTH BY CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION - THE SLIDING-BOAT CLOSE-SPACED TECHNIQUE
被引:3
作者:
YOSHIKAWA, A
YOSHIHARA, S
KASAI, H
NISHIMAKI, M
机构:
关键词:
D O I:
10.1063/1.92062
中图分类号:
O59 [应用物理学];
学科分类号:
摘要:
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