CATHODIC ARC PLASMA DEPOSITION TECHNOLOGY

被引：87

作者：

RANDHAWA, H

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(88)90494-4

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：175 / 185

页数：11

共 23 条

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