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INFERIOR ELECTRONIC-PROPERTIES OF RF-SPUTTERED ALPHA-SI-H FILMS WITH ONLY THE 2000-CM-1 IR ABSORPTION-BAND

被引：13
作者：
OGUZ, S
PAUL, DK
BLAKE, J
COLLINS, RW
LACHTER, A
YACOBI, BG
PAUL, W
机构：
来源：
JOURNAL DE PHYSIQUE | 1981年 / 42卷 / NC4期
关键词：
D O I：
10.1051/jphyscol:19814150
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
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页码：679 / 682
页数：4
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共 5 条
[1]  
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