NOVEL PROCESS FOR EMITTER-BASE-COLLECTOR SELF-ALIGNED HETEROJUNCTION BIPOLAR-TRANSISTOR USING A PATTERN-INVERSION METHOD

被引：4

作者：

TANAKA, S

MADIHIAN, M

TOYOSHIMA, H

HAYAMA, N

HONJO, K

机构：

[1] NEC, Kawasaki, Jpn, NEC, Kawasaki, Jpn

来源：

关键词：

D O I：

10.1049/el:19870403

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：562 / 564

页数：3

共 4 条

CHANG, MF ;

ASBECK, PM ;

MILLER, DL ;

WANG, KC .

EDA, K ;

INADA, M ;

OTA, Y ;

NAKAGAWA, A ;

HIROSE, T ;

YANAGIHARA, M .

[3] SELF-ALIGNED ALGAAS/GAAS HBT WITH INGAAS EMITTER CAP LAYER [J].

NAGATA, K ;

NAKAJIMA, O ;

NITTONO, T ;

ITO, H ;

ISHIBASHI, T .

[4]

OSHIMA T, 1985, 1985 IEEE GAAS IC S, P53