EXTENDED THEORY OF SPUTTERING

被引：23

作者：

HARRISON, DE

机构：

来源：

JOURNAL OF CHEMICAL PHYSICS | 1960年 / 32卷 / 05期

关键词：

D O I：

10.1063/1.1730918

中图分类号：

O64 [物理化学（理论化学）、化学物理学];

学科分类号：

070304 ; 081704 ;

摘要：

引用

收藏

页码：1336 / 1341

页数：6

相关论文

共 6 条

[1] THEORY OF SPUTTERING BY HIGH-SPEED IONS [J].

GOLDMAN, DT ;

SIMON, A .

PHYSICAL REVIEW, 1958, 111 (02) :383-386

[2]

GOLDMAN DT, 1959, ORNL2729 REP

[3] THEORY OF THE SPUTTERING PROCESS [J].

HARRISON, DE .

PHYSICAL REVIEW, 1956, 102 (06) :1473-1480

[4] SUPPLEMENTARY SPUTTERING CALCULATIONS [J].

HARRISON, DE .

PHYSICAL REVIEW, 1957, 105 (04) :1202-1203

[5]

SEITZ F, 1956, SOLID STATE PHYSICS, V2, P321

[6] LOW-ENERGY SPUTTERING YIELDS IN HG [J].

WEHNER, GK .

PHYSICAL REVIEW, 1958, 112 (04) :1120-1124