UHV FACILITY FOR METAL-SEMICONDUCTOR THIN-FILM STUDIES

被引：5

作者：

CRIDER, CA ^{[1
]}

POATE, JM ^{[1
]}

ROWE, JE ^{[1
]}

机构：

[1] BELL TEL LABS INC,MURRAY HILL,NJ 07974

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1978年 / 15卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1116/1.569482

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：215 / 218

页数：4

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共 5 条

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