IMPROVEMENT OF REFLECTED BEAM SPUTTER SOURCE

被引：16

作者：

BRAND, K

机构：

来源：

NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS | 1978年 / 154卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1016/0029-554X(78)90095-2

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

页码：595 / 596

页数：2

共 4 条

[1] PERFORMANCE OF REFLECTED BEAM SPUTTER SOURCE [J].

BRAND, K .

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[2] REFLECTED BEAM SPUTTER SOURCE [J].

BRAND, K .

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