AN ELASTIC ENERGY APPROACH TO THE INTERSTITIAL DIFFUSION OF 3D ELEMENTS IN SILICON

被引：35

作者：

UTZIG, J

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.343349

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：3868 / 3871

页数：4

共 15 条

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