CONTROL OF PINHOLES IN EPITAXIAL COSI2 LAYERS ON SI(111)

被引:63
作者
TUNG, RT
BATSTONE, JL
机构
关键词
D O I
10.1063/1.99393
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页数:3
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