QUANTITATIVE ION-IMPLANTATION - PRACTICE

被引:25
作者
GRIES, WH
机构
来源
INTERNATIONAL JOURNAL OF MASS SPECTROMETRY AND ION PROCESSES | 1979年 / 30卷 / 02期
关键词
D O I
10.1016/0020-7381(79)80089-3
中图分类号
O64 [物理化学(理论化学)、化学物理学]; O56 [分子物理学、原子物理学];
学科分类号
070203 ; 070304 ; 081704 ; 1406 ;
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