THERMOCHEMISTRY OF THERMAL PLASMA CHEMICAL-REACTIONS .2. A SURVEY OF SYNTHESIS ROUTES FOR SILICON-NITRIDE PRODUCTION

被引：22

作者：

CHANG, Y ^{[1
]}

YOUNG, RM ^{[1
]}

PFENDER, E ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV MINNESOTA,CTR PLASMA CHEM,MINNEAPOLIS,MN 55455

来源：

PLASMA CHEMISTRY AND PLASMA PROCESSING | 1987年 / 7卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1007/BF01016519

中图分类号：

TQ [化学工业];

学科分类号：

0817 ;

摘要：

引用

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页码：299 / 316

页数：18

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共 25 条

[21]

VOGT GT, 1984, MATER RES SOC S P, V30, P283

[22]

Wild S, 1972, SPECIAL CERAMICS, V5, P271

[23]

YOSHIDA T, 1983, 6TH P INT S PLASM CH, V1, P225

[24] PREPARATION OF SILICON-NITRIDE FROM SILICA [J].

ZHANG, SC ;

CANNON, WR .

JOURNAL OF THE AMERICAN CERAMIC SOCIETY, 1984, 67 (10) :691-695

[25]

ZHU CW, 7TH P INT S PLASM CH, V2, P657