ELECTRODE SHAPE EFFECTS ON OXIDE CONDUCTION IN FILMS THERMALLY GROWN FROM POLYCRYSTALLINE SILICON

被引：24

作者：

LEE, HS ^{[1
]}

MARIN, SP ^{[1
]}

机构：

[1] GM CORP,RES LABS,DEPT MATH,WARREN,MI 48090

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.328162

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：3746 / 3750

页数：5

共 8 条

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