DISLOCATION NETWORKS IN PHOSPHORUS-IMPLANTED SILICON

被引：46

作者：

TAMURA, M ^{[1
]}

机构：

[1] HITACHI LTD,CENT RES LAB,TOKYO 185,JAPAN

来源：

PHILOSOPHICAL MAGAZINE | 1977年 / 35卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1080/14786437708235998

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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页码：663 / 691

页数：29

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[31]

VANDERMERWE JH, 1964, SINGLE CRYSTAL FILMS, P139

[32]

WHELAN MJ, 1963, ELECTRON MICROSCOPY, P3

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