SCANNING ELECTRON-MICROSCOPY IN SUB-MICRON STRUCTURE DIAGNOSTICS

被引：12

作者：

ARISTOV, VV

KAZMIRUK, VV

USHAKOV, NG

YAKIMOV, EB

ZAITSEV, SI

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0042-207X(88)90572-6

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：1045 / 1050

页数：6

共 24 条

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