SELECTIVE DEPOSITION OF SIO2 THIN-FILMS IN ACID BATHS

被引：3

作者：

SMITH, MA ^{[1
]}

LEVENSON, LL ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV MISSOURI,GRAD CTR MAT RES,ROLLA,MO 65401

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(82)90238-3

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：161 / 166

页数：6

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共 4 条

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