共 21 条
- [21] SMITH TE, 1982, BELL TELEPHONE LABOR
FREQUENCY-EFFECTS AND PROPERTIES OF PLASMA DEPOSITED FLUORINATED SILICON-NITRIDE
被引：11
作者：
CHANG, CP
FLAMM, DL
IBBOTSON, DE
MUCHA, JA
机构：
来源：
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B
|
1988年
/
6卷
/
02期
关键词：
D O I：
10.1116/1.584063
中图分类号：
TM [电工技术];
TN [电子技术、通信技术];
学科分类号：
0808 ;
0809 ;
摘要：
引用
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页码：524 / 532
页数：9
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