ANISOTROPY IN ELECTRICAL PROPERTIES OF [001] SI/[0112] AI2O3

被引:32
作者
HUGHES, AJ [1 ]
THORSEN, AC [1 ]
机构
[1] N AMER ROCKWELL CORP,ANAHEIM,CA 92803
关键词
D O I
10.1063/1.1662554
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:2304 / 2310
页数:7
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