DIAGNOSTICS OF FILM GROWTH IN PLASMA CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION

被引：6

作者：

KNIGHTS, JC

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1988年 / 6卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1116/1.575601

中图分类号：

TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

页码：2060 / 2060

页数：1

共 5 条

[1] HIGH-INFORMATION INFRARED-SPECTROSCOPY OF UNSTABLE MOLECULES [J].

CHOLLET, P ;

GUELACHVILI, G ;

MORILLONCHAPEY, M ;

GRESSIER, P ;

SCHMITT, JPM .

KNIGHTS, JC ;

SCHMITT, JPM ;

PERRIN, J ;

GUELACHVILI, G .

[3]

KNIGHTS JC, 1987, P EUROPEAN MRS

[4]

PERRIN J, IN PRESS APPL PHYS L

[5]

SHAW JN, COMMUNICATION