LARGE AREA COATINGS WITH UNIFORM THICKNESS FABRICATED IN A SMALL VACUUM CHAMBER

被引：3

作者：

HAYDEN, CJ ^{[1
]}

SPILLER, E ^{[1
]}

机构：

[1] IBM CORP,THOMAS J WATSON RES CTR,YORKTOWN HTS,NY 10598

来源：

APPLIED OPTICS | 1989年 / 28卷 / 14期

关键词：

D O I：

10.1364/AO.28.002694

中图分类号：

O43 [光学];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

引用

页码：2694 / 2696

页数：3

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共 4 条

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