DEPTH DISTRIBUTION OF IMPLANTED HELIUM AND OTHER LOW-Z ELEMENTS IN METAL-FILMS USING PROTON BACKSCATTERING

被引：40

作者：

BLEWER, RS ^{[1
]}

机构：

[1] SANDIA LABS,ALBUQUERQUE,NM 87115

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.1654759

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：593 / 595

页数：3

相关论文

共 18 条

[11] MUSKET RG, TO BE PUBLISHED
[12] PIEPER AG, 1972, NRL2394 NAV RES LAB
[13] ANALYSIS OF SURFACE-LAYERS BY ELASTIC BACKSCATTERING
TUROS, A
WIELUNSKI, L
[J]. NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS, 1972, 104 (01): : 117 - +
[14] WHALING W, 1958, HDB PHYSIK, V34
[15] 1973, 1971 P INT C RAD IND
[16] 1973, P INT C ION BEAM SUR
[17] 1972, CONF710601 US DEPT C
[18] 1973, INT C APPLICATION IO