EQUILIBRIUM COMPUTATION FOR GROWTH OF ALPHA-SILICON CARBIDE FROM SILANE AND PROPANE IN PRESENCE OF HYDROGEN OR AN INERT GAS

被引：7

作者：

MINAGAWA, S

GATOS, HC

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1143/JJAP.10.844

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：844 / &

共 17 条

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